流體的體積是流體溫度和壓力的函數，是一個因變量，而流體的質量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學研究、生產過程控制、質量管理、經濟核算和貿易交接等活動中所涉及的流體量一般多為質量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設法獲得流體的質量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數后，通過修正、換算和補償等方法間接地得到流體的質量。這種測量方法，中間環節多，質量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著現代科學技術的發展，相繼出現了一些直接測量質量流量的計量方法和裝置，從而推動了流量測量技術的進步。

質量流量計是利用科里奧利原理，即利用測量管下半部分振動頻率相位差正比于質量流量以測量流量，利用測量管諧振頻率與管中被測介質密度間的函數關系求取密度，從此兩個基本參數質量流量qm和密度ρ衍生得出體積流量qv(=qm/e),若被測液體是兩種有一定密度差相溶或不相溶混合液體，經密度演算得出一種液體在混合液中的濃度，如油甲油水混合液的含水率，在測量液固雙相流中可測出含固率。

科里奧利質量流量計降低精確度（量程誤差從±0.2%左右降低到±0.5%），功能減少，設計普及型儀表的價格只有傳統科里奧利質量流量計的50%～70%,還向價格更低的目標準推進。

微小液體質量熱式流量計，其流量范圍1~1000g/h，基本誤差±（0.5~1）%FS。當前主要應用于化學、石化、食品等流程工業實驗性裝置。如美國Brooks公司的Flomtgn型，荷蘭Bronk  horst  Hi-Tech公司的 Liqui-Flow型和μ-Flow型微量流量計。

熱式質量流量計應用于氣體小流量測量，較多地應用于半導體工業、熱處理爐、分析儀器等氫、氧、氨等流量測量和控制以及閥門制造過程中測定泄漏量等。國外近年來熱銷的插入式熱式流量計，主要應用于環境保護和流程工業大中型管道。如水泥工業豎式磨粉機排放熱氣流量控制等。